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im电竞半导体 | EFEM 设备 | 2 PORT EFEM 晶圆传输模块 | 国产 8/12寸晶圆传输设备

2 PORT EFEM
EFEM
产品特点
12”标准机型,可兼容8”产品(通过Adapter)
采用双臂拟似多轴功能机械手
材料符合RoHS规范,洁净度最高可达ISO Class 2
多种传感器等监测元件,实时检测设备状态
即时摄像监控,各种条码、二维码、字符码识别,完整追踪生产过程
提供客制化晶圆搬送需求