JEL SVCR3260
晶圆搬运机械手臂
3轴圆柱坐标洁净机械手臂
产品特点
真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列。适用于真空腔室内的晶圆搬运。
机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置和波纹管
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
可以选配2相步进电机规格
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指